Газоанализатор Riken Keiki GD-70D
GD-70D – стационарный газоанализатор со встроенным ЖК-экраном и насосом для измерения широкого спектра токсичных газов, используемых при производстве полупроводников. Прибор оснащен выходом 4-20 мА для передачи сигнала на РСУ или ПЛК, а также встроенным веб-сервером для удаленного мониторинга и обслуживания газоанализатора.
Цена по запросу
Особенности
- Единая платформа (основной блок/датчик/насос) для всех типов датчиков
- Интеллектуальные датчики
- Большой ЖК-экран со шкалой
- Интерфейсы 4-20 мА, NT, PoE - на выбор
- Встроенный веб-сервер для удаленного мониторинга
- Функция самодиагностики
- Простота установки и обслуживания
- Широкий перечень измеряемых газов
Технические характеристики
Модель | GD-70D | ||||
Измеряемый газ | Токсичные газы | ||||
Принцип измерений | Электрохимический (ESU) |
Полупроводниковый (SGU) |
Пиролизный (SSU) |
Гальванический (OSU) |
Керамический (NGU) |
Диапазон измерений | Зависит от измеряемого газа | ||||
Пороги сигнализации | Зависит от измеряемого газа | ||||
Погрешность | ±5% показания или ±2%LEL | ||||
Время установления показаний | Т90 = 30 с | ||||
Метод отбора | Принудительный, 0,5 л/мин | ||||
Экран | ЖКД с цифровой индикацией концентрации, наименования газа, расхода, статуса соединения, статуса пиролизатора и неисправностей | ||||
Выход | 4-20 мА | ||||
Интерфейс | PoE (IEEE802.3af) | ||||
Макс.расстояние передачи сигнала | 1,25 км. (кабель CVVS 1,25 мм2) | ||||
Источник питания | DC 24В | ||||
Рабочая температура | 0°C - +40°C, влажность от 30% до 70% без конденсации | ||||
Габариты и вес | 70 x 120 x 150 мм, 0,9 кг. | ||||
Гарантия | 12 месяцев |
СПИСОК ИЗМЕРЯЕМЫХ ГАЗОВ
Газ | Химическая формула | Номер CAS | Диапазон измерения |
Азотная кислота | HNO3 | 7697-37-2 | 0 - 20 ppm |
Аммиак | NH3 | 7664-41-7 | 0 - 75 ppm |
Арсин | AsH3 | 7784-42-1 | 0 - 0,2 ppm |
Ацетилен | C2H2 | 74-86-2 | 0 - 5000 ppm |
Ацетон | C3H60 | 67-64-1 | 0 - 2000 ppm |
Ацетонитрил | CH3CN | 75-05-8 | 0 - 2000 ppm |
Бром | Br2 | 7726-95-6 | 0 - 1 ppm |
Бромоводород | HBr | 10035-10-6 | 0 - 6 ppm |
Бутадиен | C4H6 | 106-99-0 | 0 - 2000 ppm |
Винилиденфторид (VDF) | C2H2F2 | 75-38-7 | 0 - 1000 ppm |
Винилхлорид (VCM) | C2H3Cl | 75-01-4 | 0 - 1000 ppm |
Водород | H2 | 1333-74-0 | 0 - 2000 ppm |
Гексаметилдисилазан (HDMS)* | C6H18NSi2 | 999-97-3 | 0 - 30 ppm |
Гексаметилдисилоксан (HMDSO)* | C6H18OSi2 | 107-46-0 | 0 - 5 ppm |
Гексан | n-C6H14 | 110-54-3 | 0 - 2000 ppm |
Гексафторацетилацетон (Hhfac) | C5H2O2F6 | 1522-22-1 | 0 - 20 ppm |
Гексафторбутадиен | C4F6 | 685-63-2 | 0 - 5000 ppm |
Гексафторид вольфрама | WF6 | 7783-82-6 | 0 - 9 ppm |
Гексафторид молибдена | MoF6 | 7783-77-9 | 0 - 9 ppm |
Гексафторпропилен | C3F6 | 116-15-4 | 0 - 2000 ppm |
Гексахлорид вольфрама | WCl6 | 13283-01-7 | 0 - 15 ppm |
Гидразин | N2H4 | 302-01-2 | 0 - 5 ppm |
Дейтерий | D2 | 7782-39-0 |
0 - 2000 ppm |
Декан | C10H22 | 124-18-5 |
0 - 2000 ppm |
Диборан | B2H6 | 19287-45-7 | 0 - 0,3 ppm |
Диметиламин (DMA) | C2H7N | 124-40-3 | 0,9 - 15 ppm |
Диметилацетамид (DMAC) | C4H9NO | 127-19-5 |
0 - 4000 ppm |
Диметилформамид (DMF) | C3H7NO | 68-12-2 |
0 - 50 ppm |
Диметоксидиметилсилан (DMDMOS)* | C4H12O2Si | 1112-39-6 | 0 - 15 ppm |
Диоксид азота | NO2 | 10102-44-0 |
0 - 15 ppm |
Диоксид кремния | SiO2 | 7631-86-9 |
0 - 10 мг/м3 |
Диоксид серы | SO2 | 7446-09-5 |
0 - 6 ppm |
Дисилан | Si2H6 | 1590-87-0 |
0 - 15 ppm |
Дихлорметан | CH2Cl2 | 75-09-2 | 0 - 2000 ppm |
Дихлорсилан | SiH2Cl2 | 4109-96-0 |
0 - 15 ppm |
Дихлорэтан (EDC) | C2H4Cl2 | 107-06-2 | 0 - 500 ppm |
Диэтиламин (DEA) | C4H11N | 109-89-7 | 0,2 - 15 ppm |
Диэтоксиметилсилан (DEMS)* | C5H14O2Si | 2031-62-1 | 0 - 15 ppm |
Закись азота | N2O | 10024-97-2 |
0 - 500 ppm |
Изобутан | i-C4H10 | 75-28-5 | 0 - 2000 ppm |
Изобутилен | i-C4H8 | 115-11-7 |
0 - 2000 ppm |
Изопропиловый спирт (IPA) | C3H8O | 67-63-0 |
0 - 2000 ppm |
Йод | I2 | 7553-56-2 | 0 - 1 ppm |
Йодоводород | HI | 10034-85-2 | 0 - 5 ppm |
Карбонилсульфид | COS | 463-58-1 | 0 - 5000 ppm |
Карбонилфторид | COF2 | 353-50-4 |
0 - 6 ppm |
Кислород | O2 | 7782-44-7 |
0 - 100% |
Метан | CH4 | 74-82-8 |
0 - 20000 ppm |
Метиламин (MMtA) | CH5N | 74-89-5 | 0 - 15 ppm |
Метиловый спирт | CH3OH | 67-56-1 |
0 - 5000 ppm |
Метилортосиликат (QMS)* | C4H12O4Si | 681-84-5 | 0 - 15 ppm |
Метилпирролидин (NMP) | C5H9NO | 872-50-4 | 0 - 1000 ppm |
Монометиловый эфир пропиленгликоля |
C4H10O2 | 107-98-2 | 0 - 2000 ppm |
Монометилсилан | CH3SiH3 | 992-94-9 |
0 - 20 ppm |
Муравьиная кислота | CH2O2 | 64-18-6 |
0 - 15 ppm |
Озон | O3 | 10028-15-6 |
0 - 0,6 ppm |
Оксид азота | NO | 10102-43-9 |
0 - 100 ppm |
Оксид углерода | CO | 630-08-0 | 0 - 300 ppm |
Оксихлорид фосфора | POCl3 | 10025-87-3 |
0 - 15 ppm |
Октаметилциклотетрасилоксан (OMCTS)* | C8H24O4Si4 | 556-67-2 | 0 - 3 ppm |
Октан | C8H18 | 111-65-9 | 0 - 3000 ppm |
Октафторциклопентен | C5F8 | 559-40-0 | 0 - 2000 ppm |
Пентафторид мышьяка | AsF5 | 7784-36-3 | 0 - 9 ppm |
Пентафторид фосфора | PF5 | 7647-19-0 | 0 - 9 ppm |
Пентахлорид молибдена | MoCl5 | 10241-05-1 | 0 - 15 ppm |
Пентахлорид мышьяка | AsCl5 | 22441-45-8 | 0 - 15 ppm |
Пентахлорид сурьмы | SbCl5 | 7647-18-9 |
0 - 15 ppm |
Пентахлорид фосфора | PCl5 | 10026-13-8 | 0 - 15 ppm |
Перекись водорода | H2O2 | 7722-84-1 | 0 - 3 ppm |
Пиридин | C5H5N | 110-86-1 |
0 - 500 ppm |
Пропан | C3H8 | 74-98-6 | 0 - 5000 ppm |
Пропилен | C3H6 | 115-07-1 |
0 - 5000 ppm |
Селенистый водород | H2Se | 7783-07-5 | 0 - 0,2 ppm |
Сероводород | H2S | 7783-06-4 | 0 - 30 ppm |
Силан | SiH4 | 7803-62-5 | 0 - 15 ppm |
СНГ (LPG) | --- | --- | 0 - 10000 ppm |
Тетрагидрид германия | GeH4 | 7782-65-2 | 0 - 0,8 ppm |
Тетраметилсилан (TMS) | C4H12Si | 75-76-3 | 0 - 15 ppm |
Тетрафторид кремния | SiF4 | 7783-61-1 | 0 - 9 ppm |
Тетрафторид серы | SF4 | 7783-60-0 | 0 - 9 ppm |
Тетрахлорид германия | GeCl4 | 10038-98-9 | 0 - 15 ppm |
Тетрахлорид кремния | SiCl4 | 10026-04-7 | 0 - 15 ppm |
Тетрахлорид олова | SnCl4 | 7646-78-8 | 0 - 15 ppm |
Тетрафторэтилен | C2F4 | 116-14-3 |
0 - 5000 ppm |
Тетраэтоксисилан (TEOS) | C8H20O4Si | 78-10-4 |
0 - 15 ppm |
Толуол | C7H8 | 108-88-3 | 0-100%LEL |
Трибромид бора | BBr3 | 10294-33-4 | 0 - 6 ppm |
Триметиламин (TMA) | C3H9N | 75-50-3 |
0 - 15 ppm |
Триметилборат (TMB)* | C3H9BO3 | 121-43-7 |
0 - 1000 ppm |
Триметилсилан (TRIMS) | C3H10Si | 993-07-7 |
0 - 15 ppm |
Триметилфосфат (TMOP)* | C3H9O4P | 512-56-1 |
0 - 10 ppm |
Триметилфосфит (TMP)* | C3H9O3P | 121-45-9 |
0,8 - 3 ppm |
Триметоксисилан (TRIMOS)* | C3H10O3Si | 2487-90-3 |
0 - 15 ppm |
Трисилиламин | Si3H9N | 13862-16-3 |
0 - 15 ppm |
Трифторид азота | NF3 | 7783-54-2 | 0 - 30 ppm |
Трифторид бора | BF3 | 7637-07-2 | 0 - 9 ppm |
Трифторид мышьяка | AsF3 | 7784-35-2 | 0 - 9 ppm |
Трифторид фосфора | PF3 | 7783-55-3 |
0 - 10 ppm |
Трифторид хлора | ClF3 | 7790-91-2 | 0 - 0,6 ppm |
Трихлорид бора | BCl3 | 10294-34-5 | 0 - 15 ppm |
Трихлорид мышьяка | AsCl3 | 7784-34-1 |
0 - 15 ppm |
Трихлорид фосфора | PCl3 | 7719-12-2 | 0 - 10 ppm |
Трихлорсилан | SiHCl3 | 10025-78-2 | 0 - 15 ppm |
Трихлорэтан | C2H3Cl3 | 71-55-6 |
0 - 2000 ppm |
Трихлорэтилен | C2H2Cl2 | 79-01-6 |
0 - 3000 ppm |
Триэтилборат (TEB)* | C6H15BO3 | 150-46-9 |
0 - 1000 ppm |
Триэтилфосфат (TEOP)* | C6H15O4P | 78-40-0 |
0 - 2 ppm |
Уксусная кислота | C2H4O2 | 64-19-7 |
0 - 30 ppm |
Уксусный альдегид | СH3СHO | 75-07-0 |
0 - 100 ppm |
Фосфин | PH3 | 7803-51-2 |
0 - 1 ppm |
Фреон R-32 | CH2F2 | 75-10-5 | 0 - 10000 ppm |
Фреон R-41 | CH3F | 593-53-3 |
0 - 10000 ppm |
Фреон R-123* | C2HF3Cl2 | 306-83-2 |
0 - 100 ppm |
Фреон R-134a | C2H2F4 | 811-97-2 |
0 - 5000 ppm |
Фреон R-152A | C2H4F2 | 75-37-6 |
0 - 5000 ppm |
Фреон R-245fa | C3H3F5 | 460-73-1 |
0 - 5000 ppm |
Фреон R-407E | --- | --- | 0 - 5000 ppm |
Фреон R-410A | --- | --- | 0 - 5000 ppm |
Фтор | F2 | 7782-41-4 | 0 - 3 ppm |
Фтороводород |
HF | 7664-39-3 |
0 - 9 ppm |
Хлор | Cl2 | 7782-50-5 | 0 - 1,5 ppm |
Хлороводород | HCl | 7647-01-0 | 0 - 15 ppm |
Хлортрифторэтилен (CTFE) | C2F3Cl | 79-38-9 |
0 - 5000 ppm |
Цианистый водород | HCN | 74-90-8 |
0,4 - 30 ppm |
Циклогексан | C6H12 | 110-82-7 | 0 - 2000 ppm |
Циклопентанон | C5H8O | 120-92-3 | 0 - 1000 ppm |
Этан | C2H6 | 74-84-0 |
0 - 2000 ppm |
Этилацетат (EtAc) | C4H8O2 | 141-78-6 |
0 - 2000 ppm |
Этилен | C2H4 | 74-85-1 | 0 - 2000 ppm |
Этиленоксид (EO) | C2H4O | 75-21-8 |
0 - 50 ppm |
Этиллактат (LAE) | C5H10O3 | 97-64-3 |
0 - 5000 ppm |
Этилметиламин (EMA) | C3H9N | 624-78-2 | 0 - 15 ppm |
Этиловый спирт | C2H5OH | 64-17-5 |
0 - 2000 ppm |
Этилциклогексан | C8H16 | 1678-91-7 |
0 - 2000 ppm |
1-гексен | 1-C6H12 | 592-41-6 |
0 - 1000 ppm |
2-этоксиэтилацетат | C6H12O3 | 111-15-9 | 0 - 3000 ppm |
BTBAS | C8H22N2Si | 186598-40-3 | 0 - 15 ppm |
Документация и файлы для скачивания