Полный спектр продукции и оборудования для газификации жилых и промышленных объектов
Санкт-Петербург  (812) 309-47-97
Москва  (495) 669-67-87
Великий Новгород  (931) 850-54-71
Ростов-на-Дону  (863) 303-61-75
Новосибирск  (383) 280-46-10

Газоанализатор Riken Keiki GD-70D

Назначение

GD-70D – стационарный газоанализатор со встроенным ЖК-экраном и насосом для измерения широкого спектра токсичных газов, используемых при производстве полупроводников. Прибор оснащен выходом 4-20 мА для передачи сигнала на РСУ или ПЛК, а также встроенным веб-сервером для удаленного мониторинга и обслуживания газоанализатора.

Описание

Особенности

  • Единая платформа (основной блок/датчик/насос) для всех типов датчиков
  • Интеллектуальные датчики
  • Большой ЖК-экран со шкалой
  • Интерфейсы 4-20 мА, NT, PoE - на выбор
  • Встроенный веб-сервер для удаленного мониторинга
  • Функция самодиагностики
  • Простота установки и обслуживания
  • Широкий перечень измеряемых газов

Технические характеристики

 Модель GD-70D   
 Измеряемый газ Токсичные газы
 Принцип измерений Электрохимический
(ESU)
Полупроводниковый
(SGU)
Пиролизный
(SSU)
Гальванический
(OSU)
Керамический
(NGU)
 Диапазон измерений Зависит от измеряемого газа
 Пороги сигнализации Зависит от измеряемого газа 
 Погрешность ±5% показания или ±2%LEL   
 Время установления показаний Т90 = 30 с  
 Метод отбора Принудительный, 0,5 л/мин
 Экран ЖКД с цифровой индикацией концентрации, наименования газа, расхода, статуса соединения, статуса пиролизатора и неисправностей
 Выход 4-20 мА
 Интерфейс PoE (IEEE802.3af)
 Макс.расстояние передачи сигнала 1,25 км. (кабель CVVS 1,25 мм2)
 Источник питания DC 24В
 Рабочая температура 0°C - +40°C, влажность от 30% до 70% без конденсации
 Габариты и вес 70 x 120 x 150 мм, 0,9 кг.
 Гарантия 12 месяцев

СПИСОК ИЗМЕРЯЕМЫХ ГАЗОВ

Газ Химическая формула Номер CAS Диапазон измерения
Азотная кислота HNO3 7697-37-2 0 - 20 ppm
Аммиак NH3 7664-41-7 0 - 75 ppm
Арсин AsH3 7784-42-1 0 - 0,2 ppm
Ацетилен C2H2 74-86-2 0 - 5000 ppm
Ацетон C3H60 67-64-1 0 - 2000 ppm
Ацетонитрил CH3CN 75-05-8 0 - 2000 ppm
Бром Br2 7726-95-6 0 - 1 ppm
Бромоводород HBr 10035-10-6 0 - 6 ppm
Бутадиен C4H6 106-99-0  0 - 2000 ppm
Винилиденфторид (VDF) C2H2F2 75-38-7 0 - 1000 ppm
Винилхлорид (VCM) C2H3Cl 75-01-4  0 - 1000 ppm
Водород H2 1333-74-0 0 - 2000 ppm
Гексаметилдисилазан (HDMS)*   C6H18NSi2 999-97-3 0 - 30 ppm
Гексаметилдисилоксан (HMDSO)* C6H18OSi2 107-46-0 0 - 5 ppm
Гексан n-C6H14 110-54-3 0 - 2000 ppm
Гексафторацетилацетон (Hhfac) C5H2O2F6 1522-22-1 0 - 20 ppm
Гексафторбутадиен    C4F6 685-63-2 0 - 5000 ppm
Гексафторид вольфрама    WF6 7783-82-6   0 - 9 ppm
Гексафторид молибдена    MoF6 7783-77-9   0 - 9 ppm
Гексафторпропилен C3F6 116-15-4 0 - 2000 ppm
Гексахлорид вольфрама    WCl6 13283-01-7 0 - 15 ppm
Гидразин  N2H4 302-01-2 0 - 5 ppm
Дейтерий  D2 7782-39-0
0 - 2000 ppm
Декан  C10H22 124-18-5
0 - 2000 ppm
Диборан B2H6 19287-45-7 0 - 0,3 ppm
Диметиламин (DMA) C2H7N 124-40-3 0,9 - 15 ppm
Диметилацетамид (DMAC) C4H9NO 127-19-5
0 - 4000 ppm
Диметилформамид (DMF) C3H7NO 68-12-2
0 - 50 ppm
Диметоксидиметилсилан (DMDMOS)* C4H12O2Si 1112-39-6 0 - 15 ppm
Диоксид азота  NO2 10102-44-0
0 - 15 ppm
Диоксид кремния  SiO2 7631-86-9
0 - 10 мг/м3
Диоксид серы  SO2 7446-09-5
0 - 6 ppm
Дисилан  Si2H6 1590-87-0
0 - 15 ppm
Дихлорметан  CH2Cl2 75-09-2 0 - 2000 ppm
Дихлорсилан SiH2Cl2 4109-96-0
0 - 15 ppm
Дихлорэтан (EDC)  C2H4Cl2 107-06-2 0 - 500 ppm
Диэтиламин (DEA) C4H11N 109-89-7 0,2 - 15 ppm
Диэтоксиметилсилан (DEMS)*  C5H14O2Si 2031-62-1 0 - 15 ppm
Закись азота  N2O 10024-97-2
0 - 500 ppm
Изобутан  i-C4H10 75-28-5 0 - 2000 ppm
Изобутилен  i-C4H8 115-11-7
0 - 2000 ppm
Изопропиловый спирт (IPA) C3H8O 67-63-0
0 - 2000 ppm
Йод  I2 7553-56-2 0 - 1 ppm
Йодоводород HI 10034-85-2 0 - 5 ppm
Карбонилсульфид COS 463-58-1 0 - 5000 ppm
Карбонилфторид  COF2 353-50-4
0 - 6 ppm
Кислород   O2 7782-44-7
0 - 100%
Метан CH4 74-82-8
0 - 20000 ppm
Метиламин (MMtA) CH5N 74-89-5 0 - 15 ppm
Метиловый спирт  CH3OH 67-56-1
0 - 5000 ppm
Метилортосиликат (QMS)* C4H12O4Si 681-84-5 0 - 15 ppm
Метилпирролидин (NMP)  C5H9NO 872-50-4 0 - 1000 ppm
Монометиловый эфир
пропиленгликоля
C4H10O2 107-98-2 0 - 2000 ppm
Монометилсилан  CH3SiH3 992-94-9
0 - 20 ppm
Муравьиная кислота  CH2O2 64-18-6
0 - 15 ppm
Озон  O3 10028-15-6
0 - 0,6 ppm
Оксид азота NO 10102-43-9
0 - 100 ppm
Оксид углерода CO 630-08-0 0 - 300 ppm
Оксихлорид фосфора   POCl3 10025-87-3
0 - 15 ppm
Октаметилциклотетрасилоксан (OMCTS)* C8H24O4Si4 556-67-2 0 - 3 ppm
Октан  C8H18 111-65-9 0 - 3000 ppm
Октафторциклопентен  C5F8 559-40-0 0 - 2000 ppm
Пентафторид мышьяка AsF5 7784-36-3 0 - 9 ppm
Пентафторид фосфора   PF5 7647-19-0   0 - 9 ppm
Пентахлорид молибдена   MoCl5 10241-05-1   0 - 15 ppm
Пентахлорид мышьяка   AsCl5 22441-45-8   0 - 15 ppm
Пентахлорид сурьмы   SbCl5 7647-18-9
  0 - 15 ppm
Пентахлорид фосфора   PCl5 10026-13-8   0 - 15 ppm
Перекись водорода   H2O2 7722-84-1 0 - 3 ppm
Пиридин  C5H5N 110-86-1
0 - 500 ppm
Пропан  C3H8 74-98-6 0 - 5000 ppm
Пропилен  C3H6 115-07-1
0 - 5000 ppm
Селенистый водород   H2Se 7783-07-5 0 - 0,2 ppm
Сероводород H2S 7783-06-4 0 - 30 ppm
Силан SiH4 7803-62-5 0 - 15 ppm
СНГ (LPG) --- --- 0 - 10000 ppm
Тетрагидрид германия  GeH4 7782-65-2 0 - 0,8 ppm  
Тетраметилсилан (TMS) C4H12Si 75-76-3 0 - 15 ppm
Тетрафторид кремния   SiF4 7783-61-1 0 - 9 ppm
Тетрафторид серы  SF4 7783-60-0 0 - 9 ppm
Тетрахлорид германия  GeCl4 10038-98-9 0 - 15 ppm
Тетрахлорид кремния  SiCl4 10026-04-7 0 - 15 ppm
Тетрахлорид олова  SnCl4 7646-78-8 0 - 15 ppm
Тетрафторэтилен  C2F4 116-14-3
0 - 5000 ppm
Тетраэтоксисилан (TEOS) C8H20O4Si 78-10-4
0 - 15 ppm
Толуол  C7H8 108-88-3 0-100%LEL
Трибромид бора  BBr3 10294-33-4 0 - 6 ppm
Триметиламин (TMA) C3H9N 75-50-3
0 - 15 ppm
Триметилборат (TMB)* C3H9BO3 121-43-7
0 - 1000 ppm
Триметилсилан (TRIMS) C3H10Si 993-07-7
0 - 15 ppm
Триметилфосфат (TMOP)* C3H9O4P 512-56-1
0 - 10 ppm
Триметилфосфит (TMP)* C3H9O3P 121-45-9
0,8 - 3 ppm
Триметоксисилан (TRIMOS)* C3H10O3Si 2487-90-3
0 - 15 ppm
Трисилиламин  Si3H9N 13862-16-3
0 - 15 ppm
Трифторид азота  NF3 7783-54-2 0 - 30 ppm
Трифторид бора BF3 7637-07-2 0 - 9 ppm
Трифторид мышьяка AsF3 7784-35-2   0 - 9 ppm
Трифторид фосфора  PF3 7783-55-3
0 - 10 ppm
Трифторид хлора  ClF3 7790-91-2 0 - 0,6 ppm
Трихлорид бора BCl3 10294-34-5 0 - 15 ppm
Трихлорид мышьяка  AsCl3 7784-34-1
0 - 15 ppm
Трихлорид фосфора  PCl3 7719-12-2 0 - 10 ppm
Трихлорсилан SiHCl3 10025-78-2 0 - 15 ppm
Трихлорэтан  C2H3Cl3 71-55-6
0 - 2000 ppm
Трихлорэтилен  C2H2Cl2 79-01-6
0 - 3000 ppm
Триэтилборат (TEB)* C6H15BO3 150-46-9
0 - 1000 ppm
Триэтилфосфат (TEOP)* C6H15O4P 78-40-0
0 - 2 ppm
Уксусная кислота  C2H4O2 64-19-7
0 - 30 ppm
Уксусный альдегид  СH3СHO 75-07-0
0 - 100 ppm
Фосфин PH3 7803-51-2
0 - 1 ppm
Фреон R-32  CH2F2 75-10-5 0 - 10000 ppm
Фреон R-41  CH3F 593-53-3
0 - 10000 ppm
Фреон R-123* C2HF3Cl2 306-83-2
0 - 100 ppm
Фреон R-134a  C2H2F4 811-97-2
0 - 5000 ppm
Фреон R-152A C2H4F2 75-37-6
0 - 5000 ppm
Фреон R-245fa  C3H3F5 460-73-1
0 - 5000 ppm
Фреон R-407E  --- --- 0 - 5000 ppm
Фреон R-410A  --- --- 0 - 5000 ppm
Фтор F2 7782-41-4 0 - 3 ppm
Фтороводород   
HF 7664-39-3
0 - 9 ppm
Хлор  Cl2 7782-50-5 0 - 1,5 ppm
Хлороводород  HCl 7647-01-0 0 - 15 ppm
Хлортрифторэтилен (CTFE) C2F3Cl 79-38-9
0 - 5000 ppm
Цианистый водород HCN 74-90-8
0,4 - 30 ppm
Циклогексан  C6H12 110-82-7 0 - 2000 ppm
Циклопентанон  C5H8O 120-92-3 0 - 1000 ppm
Этан  C2H6 74-84-0
0 - 2000 ppm
Этилацетат (EtAc) C4H8O2 141-78-6
0 - 2000 ppm
Этилен C2H4 74-85-1 0 - 2000 ppm
Этиленоксид  (EO) C2H4O 75-21-8
0 - 50 ppm
Этиллактат (LAE)  C5H10O3 97-64-3
0 - 5000 ppm
Этилметиламин (EMA) C3H9N 624-78-2 0 - 15 ppm
Этиловый спирт  C2H5OH 64-17-5
0 - 2000 ppm
Этилциклогексан  C8H16 1678-91-7
0 - 2000 ppm
1-гексен  1-C6H12 592-41-6
0 - 1000 ppm
2-этоксиэтилацетат  C6H12O3 111-15-9 0 - 3000 ppm
BTBAS C8H22N2Si 186598-40-3 0 - 15 ppm
Позвонить
×